在半導(dǎo)體與電子元件的制造流程中，清洗環(huán)節(jié)至關(guān)重要。然而，作為清洗介質(zhì)的超純水（UP Water），由于其離子含量極低，在特定工況下容易引發(fā)靜電問題，進(jìn)而影響產(chǎn)品的良率。
針對這一行業(yè)共性難題，NGK公司開發(fā)了MEGCON系列超純水帶電防止器。該設(shè)備旨在通過技術(shù)手段，解決超純水清洗過程中的靜電積聚問題。
一、 靜電產(chǎn)生的機(jī)理與影響
超純水的高電阻率使其接近于絕緣體。在流經(jīng)管道或進(jìn)行高壓噴射清洗時(shí)，水流與管壁的摩擦?xí)?dǎo)致靜電荷在物體表面積聚。
這種靜電積聚可能帶來兩方面的直接影響：
1. 電路損傷風(fēng)險(xiǎn)：靜電放電可能對精密電路造成損害。
2. 污染風(fēng)險(xiǎn)：帶電表面容易吸附環(huán)境中的微粒子，增加產(chǎn)品缺陷的可能性。
二、 MEGCON的工作原理：從源頭控制
MEGCON的設(shè)計(jì)理念是預(yù)防靜電的產(chǎn)生，而非事后消除。其工作過程不涉及對水溫的調(diào)節(jié)，而是通過改變水的電學(xué)特性來實(shí)現(xiàn)防靜電功能。
該設(shè)備的核心組件采用膜分離技術(shù)，將**碳酸氣體（二氧化碳）**溶解于超純水中。氣體溶解后形成微量碳酸，產(chǎn)生離子，從而適度降低水的電阻率，賦予其導(dǎo)電能力。
經(jīng)過處理的水被稱為 “酸性功能水" 。它在保持高潔凈度的同時(shí)，能夠及時(shí)導(dǎo)走摩擦產(chǎn)生的電荷，有效防止靜電積聚，降低電路損傷和微粒子吸附的風(fēng)險(xiǎn)。
三、 技術(shù)特點(diǎn)與應(yīng)用領(lǐng)域
MEGCON系列在設(shè)計(jì)上注重實(shí)用性與穩(wěn)定性，主要特點(diǎn)包括：
● 穩(wěn)定的控制能力：采用反饋控制機(jī)制，能夠在流量變化時(shí)，維持設(shè)定的比電阻值。
● 低維護(hù)需求：設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)減少了微粒子混入的風(fēng)險(xiǎn)，且進(jìn)出口壓力損失較小。
● 多樣的型號(hào)配置：提供**柜式（Cabinet Type）和機(jī)架式（Rack Type）**等多種型號(hào)，以適應(yīng)不同的安裝環(huán)境和流量需求。
目前，該技術(shù)已在多個(gè)關(guān)鍵制造領(lǐng)域得到應(yīng)用：
● 半導(dǎo)體制造：適用于晶圓切割（Dicing）清洗、高壓噴射清洗及洗滌塔（Scrubber）等工序。
● 顯示面板行業(yè)：用于液晶面板、光掩膜（Photo Mask）及光罩（Reticle）的清洗。
四、 結(jié)語
NGK MEGCON超純水帶電防止器，通過獨(dú)特的氣體溶解技術(shù)，為解決半導(dǎo)體及精密電子制造中的靜電問題提供了一種可行的方案。它體現(xiàn)了NGK在工業(yè)清洗輔助技術(shù)方面的積累，為相關(guān)制造工藝的穩(wěn)定運(yùn)行提供了支持。
更新時(shí)間：2026-01-07 
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